آزمایشگاه بیضی نگار یا الیپسومتر

نرم افزار بررسی لایه نانومتری محاسبه الیپسومتری ضریب شکست ضریب میرایی بندگپ پارامترهای اپتیکی و الکتریکی
آزمایشگاه بیضی نگار یا الیپسومترReviewed by Mohammadmarashi on Mar 11Rating:

دستگاه بیضی نگار یا الیپسومتر

اندازه‌ گیری ضخامت و ضریب شکست لایه ‌های شفاف روی زیرلایه‌ های جاذب یا شفاف با استفاده از دستگاه مدل SENpro ساخت کمپانی SENTECH آلمان.
اندازه ‌گیری مواد چندلایه، آنالیز لایه‌ های آمورف، پلی‌سیلیکون و SOI، اندازه ‌گیری ثوابت نوری مواد فوتورزیست.

Senpro Spectro Ellipsometer

مشخصات دستگاه موجود در آزمایشگاه:

-محدوده‌ی طول موج ۳۷۰- ۱۰۵۰ nm
-حداکثر ابعاد نمونه ۲۰۰mm
-ضخامت قابل اندازه‌گیری ۱-۱۰٫۰۰۰ nm
-قطر نقطه آزمایش ۲mm
-حداکثر ضخامت نمونه ۸mm
-زوایا ۴۰°- ۹۰°

عکس دستگاه موجود در آزمایشگاه شرکت مهار فن ابزار:

دستگاه سن پرو ساخت کمپانی سنتک آلمان

نمونه نتایجی که برای یک نمونه صادر می شود:

فرمت های نتایج آنالیز و فیت بیضی سنجی:

SPC این فرمت حاوی پارامتهای سای و دلتا و همچنین اطلاعاتی چون تنظیمات دستگاه و شرایط اندازه گیری است. این فرمت تنها با نرم افزار اسپکتراری قابل بازشدن است.

EXP این فرمت مربوط به آزمایش است و تمام بخش های آزمایش را دربر می گیرد. حاوی آنالیز اندازه گیری شده و مدل تئوری.

RTF این فرمت مربوط به نرم افزار ووردپد است. در فایلی با این فرمت، گزارش کلی آزمایش را مشاهده می کنید.

Ellipsometry General Report Example

TXT DAT این فرمت، برای گزارش منحنی ها است. منحنی های سای و دلتا معمولن در مقالات گزارش می شوند. همچنین منحنی ضریب شکست و منحنی ضریب میرایی (اگر ضریب میرایی صفر نباشد)