آزمایشگاه بیضی نگار یا الیپسومتر

اندازه‌ گیری ضخامت و ضریب شکست لایه ‌های شفاف روی زیرلایه‌ های جاذب یا شفاف با استفاده از دستگاه مدل SENpro ساخت کمپانی SENTECH آلمان.
اندازه ‌گیری مواد چندلایه، آنالیز لایه‌ های آمورف، پلی‌سیلیکون و SOI، اندازه ‌گیری ثوابت نوری مواد فوتورزیست.

Senpro Spectro Ellipsometer


مشخصات دستگاه موجود در آزمایشگاه:

-محدوده‌ی طول موج ۳۷۰- ۱۰۵۰ nm
-حداکثر ابعاد نمونه ۲۰۰mm
-ضخامت قابل اندازه‌گیری ۱-۱۰٫۰۰۰ nm
-قطر نقطه آزمایش ۲mm
-حداکثر ضخامت نمونه ۸mm
-زوایا ۴۰°- ۹۰°


عکس دستگاه موجود در آزمایشگاه شرکت مهار فن ابزار:

دستگاه سن پرو ساخت کمپانی سنتک آلمان


فرمت های نتایج آنالیز و فیت بیضی سنجی:

SPC این فرمت حاوی پارامتهای سای و دلتا و همچنین اطلاعاتی چون تنظیمات دستگاه و شرایط اندازه گیری است. این فرمت تنها با نرم افزار اسپکتراری قابل بازشدن است.

EXP این فرمت مربوط به آزمایش است و تمام بخش های آزمایش را دربر می گیرد. حاوی آنالیز اندازه گیری شده و مدل تئوری است. این فرمت تنها با نرم افزار اسپکتراری قابل بازشدن است.

RTF این فرمت مربوط به نرم افزار وردپد است. در فایلی با این فرمت، گزارش کلی آزمایش را مشاهده می کنید.

DAT این فرمت مربوط به ضریب شکست و ضریب میرایی و پارامترهای سای و دلتای تئوری و عملی است. منحنی های سای و دلتا معمولن در مقالات گزارش می شوند. همچنین منحنی ضریب شکست و منحنی ضریب میرایی (اگر ضریب میرایی صفر نباشد)

یک دیدگاه

پاسخ دهید

نشانی ایمیل شما منتشر نخواهد شد.