بیضی سنج (Ellipsometer)

بیضی سنجی

دستگاه های بیضی سنج (Ellipsometer) طیف نگار که خصوصیات لایه های نازک و ساختارهای چند لایه را به صورت غیرمخرب بررسی می کنند.

SENpro sentech

– اندازه گیری لایه‌ های شفاف نازک روی سطح شیشه
– پلیمرهای نیمه‌ هادی و ساطع کننده نور
– چندلایه های مواد نیمه ‌هادی
– مجموعه لایه های متعدد روی بسترهای شفاف و جاذب
– کاربرد های پیشرفته میکروالکترونیک مثل مواد با ضریب جذب کم و زیاد
این مدل همچنین قادر به آنالیز نمونه های انیزوتروپ می‌ باشد.

 


برای اطلاعات بیشتر به سایت www.sentech.de مراجعه نمایید.


الیپسومتری (به انگلیسی: Ellipsometry)‏ روشی نوری (اپتیکی) برای مطالعه ویژگی‌های دی‌الکتریک و لایه نازک است.
در این روش با بررسی تغییرات قطبش نوز بازتابیده از نمونه، می‌توان اطلاعاتی درباره لایه‌هایی که نازکتر از طول موج نور (حتی به اندازه یک لایه اتمی) است، بدست آورد. این اطلاعات می‌تواند شاملریخت‌شناسی، ترکیب شیمیایی، رسانایی و غیره باشد. نام الیپسومتری اشاره به این موضوع دارد که بیشتر حالتهای قطبش، بیضی‌گون هستند.


اساس کار

ویژگی‌های یک ماده باعث می‌شود قطبش نور بازتابش‌یافته از آن تغییر کند. تابش الکترومغناطیسی با استفاده از یک منبع نوری انجام می‌شود و با یک قطبش‌گر، قطبیده می‌شود. پس از بازتابش، نور با قطبش‌گر دیگری که آنالیزور نام دارد برخورد می‌کند و به حسگر می‌رسد. می‌توان از یک جبران‌کننده در راه تابش و بازتابش استفاده کرد.


داده‌ها

زاویه تابش و بازتابش در این روش با هم برابرند. با تجزیه برداری نور، نوری که موازی صفحه تابش است، P و نور عمود S نام دارد و سای و دلتا دامنه این دو موج نوری هستند و الیپسومتری با بکاربردن دو تا از چهارپارامتر استوکس سای و دلتا، نسبت این دو دامنه را اندازه‌گیری می‌کند.


آنالیز داده‌ها

الیپسومتری روشی غیرمستقیم برای اندازه‌گیری ویژگی‌هاست. بدین معنا که از روی سای و دلتا نمی‌توان یک‌راست خواص را بدست آورد مگر اینکه ماده همگن و همسانگرد باشد.


مزایا

الیپسومتری در مقایسه با روش اندازه گیری شدت بازتابش، مزایایی دارد:

الیپسومتری دست کم دو پارامتر را برای یک طول موج طیف اندازه‌گیری می‌کند. با استفاده از الیپسومتری عمومی، می‌توان تا ۱۶ پارامتر را برای یک طول موج بدست آورد.
از آنجا که الیپسومتری تغییرات را (و نه مقدار مطلق) اندازه‌گیری می‌کند، نیازی به پرتو یا نمونه مرجه ندارد و ناپایداری‌های شدت نور از منبع یا جذب نور بوسیله هوا تاثیری بر آن ندارد.
برای مطالعه مواد ناهمسانگرد این روش بسیار کارآمدتر از روش اندازه گیری شدت بازتابش است.

دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه
دستگاه بیضی سنج برای بررسی نانولایه

دستگاه های بیضی سنج (Ellipsometer) طیف نگار که خصوصیات لایه های نازک و ساختارهای چند لایه را به صورت غیرمخرب بررسی می کنند.

SENpro sentech

– اندازه گیری لایه‌ های شفاف نازک روی سطح شیشه
– پلیمرهای نیمه‌ هادی و ساطع کننده نور
– چندلایه های مواد نیمه ‌هادی
– مجموعه لایه های متعدد روی بسترهای شفاف و جاذب
– کاربرد های پیشرفته میکروالکترونیک مثل مواد با ضریب جذب کم و زیاد
این مدل همچنین قادر به آنالیز نمونه های انیزوتروپ می‌ باشد.


برای اطلاعات بیشتر به سایت www.sentech.de مراجعه نمایید.


الیپسومتری (به انگلیسی: Ellipsometry)‏ روشی نوری (اپتیکی) برای مطالعه ویژگی‌های دی‌الکتریک و لایه نازک است.
در این روش با بررسی تغییرات قطبش نوز بازتابیده از نمونه، می‌توان اطلاعاتی درباره لایه‌هایی که نازکتر از طول موج نور (حتی به اندازه یک لایه اتمی) است، بدست آورد. این اطلاعات می‌تواند شاملریخت‌شناسی، ترکیب شیمیایی، رسانایی و غیره باشد. نام الیپسومتری اشاره به این موضوع دارد که بیشتر حالتهای قطبش، بیضی‌گون هستند.


اساس کار

ویژگی‌های یک ماده باعث می‌شود قطبش نور بازتابش‌یافته از آن تغییر کند. تابش الکترومغناطیسی با استفاده از یک منبع نوری انجام می‌شود و با یک قطبش‌گر، قطبیده می‌شود. پس از بازتابش، نور با قطبش‌گر دیگری که آنالیزور نام دارد برخورد می‌کند و به حسگر می‌رسد. می‌توان از یک جبران‌کننده در راه تابش و بازتابش استفاده کرد.


داده‌ها

زاویه تابش و بازتابش در این روش با هم برابرند. با تجزیه برداری نور، نوری که موازی صفحه تابش است، P و نور عمود S نام دارد و سای و دلتا دامنه این دو موج نوری هستند و الیپسومتری با بکاربردن دو تا از چهارپارامتر استوکس سای و دلتا، نسبت این دو دامنه را اندازه‌گیری می‌کند.


آنالیز داده‌ها

الیپسومتری روشی غیرمستقیم برای اندازه‌گیری ویژگی‌هاست. بدین معنا که از روی سای و دلتا نمی‌توان یک‌راست خواص را بدست آورد مگر اینکه ماده همگن و همسانگرد باشد.


مزایا

الیپسومتری در مقایسه با روش اندازه گیری شدت بازتابش، مزایایی دارد:

الیپسومتری دست کم دو پارامتر را برای یک طول موج طیف اندازه‌گیری می‌کند. با استفاده از الیپسومتری عمومی، می‌توان تا ۱۶ پارامتر را برای یک طول موج بدست آورد.
از آنجا که الیپسومتری تغییرات را (و نه مقدار مطلق) اندازه‌گیری می‌کند، نیازی به پرتو یا نمونه مرجه ندارد و ناپایداری‌های شدت نور از منبع یا جذب نور بوسیله هوا تاثیری بر آن ندارد.
برای مطالعه مواد ناهمسانگرد این روش بسیار کارآمدتر از روش اندازه گیری شدت بازتابش است.

Spectroscopic ellipsometer family SENresearch

SE800DUV_Camera_Microspots

Widest spectral range

The SENresearch spectroscopic ellipsometer family covers the widest spectral range from ۱۹۰ nm (deep UV) to ۳,۵۰۰ nm (NIR) in one tool. FTIR is applied in the near infrared, allowing an extension to3,500 nm at highest spectral resolution and speed.

Step Scan Analyzer principle:

The Step Scan Analyzer principle is a unique feature of the SENTECHspectroscopic ellipsometer family. During data acquisition, polarizer and wide band compensator are fixed to provide highest accuracy of the ellipsometric measurement.

The spectroscopic ellipsometer SENresearch measures thin film thickness, refractive index, extinction coefficient, and related properties of bulk materials, single layers, and multi‑layer stacks. Isotropic and anisotropic materials, surface and interface roughness as well as gradients can be analyzed. Furthermore, SpectraRay/3, SENTECH proprietary ellipsometer software, treats sample effects like depolarization, non-uniformity, scattering (Mueller-matrix), and backside reflection.

The SENresearch represents the high end of SENTECH spectroscopic ellipsometers. The compact table top instrument comprises the ellipsometer optics, goniometer, sample platform, auto-collimating telescope, light source, and detection unit. It can be extended by a variety of options for any R & D and routine application.

The SENresearch is focused on speed and accuracy for insitu and exsitu measurements of thin films wherever they are applied. Applications range from measuring on textured surfaces to determining the conductivity of TCO films, from insitu monitoring of deposition processes to offline mapping on large glass panels. With the latest development launched by SENTECH, magneto‑optical properties can be characterized. For a large variety of applicationspredefined recipes are offered by SpectraRay/3 for spectroscopic ellipsometers.

SpectraRay/3

SENTECH’s proprietary ellipsometer software SpectraRay/3 comprises two modes of operation: recipe mode and interactive mode. The recipe mode allows for easy execution of repetitive applications. In interactive mode, ellipsometric measurements are enhanced by an interactive, guiding graphical user interface.

Large materials database and all applicable dispersion models are included. Multiple angle of incidence, multiple sample, and combined photometric measurements are supported by SpectraRay/3.

SENresearch_SpectralbereicheSE850DUV_FTIR2SEN_goniometerSEN_automated-goniometerSE800DUV_CameraSE850DUV_r-theta-tischSE850DUV_x-y-z-tischSEN_MappingSE800DUV_Goniometer_SiBall_MicroSpotsGoniometer_20degSE800_TransmissionSEN_reflectometerSE 801 EVGSE801LiquidCellHeiztischSENresearch CryostatSGME-Controller

2 thoughts on “بیضی سنج (Ellipsometer)”

  1. ضمن درود، فعلا خدمات این طیف سنجی ارائه نمی شود. لطفا به دانشگاه شهید بهشتی یا پژوهشگاه مواد و انرژی مراجعه فرمایید

پاسخ دهید

نشانی ایمیل شما منتشر نخواهد شد.