فلو کنترلر جرمی

فلو کنترلر جرمی Mass Flow Controler دستگاهی است که برای کنترل و اندازه گیری دقیق جریان سیال (مایع یا گاز) استفاده می شود. مبنای کارکرد اغلب MFC گاز یا مایع ، انتقال حرارت در حجم مشخص می باشد.

در شکل زیر شماتیک ساده ای از مبنای اندازه گیری جریان سیال MFC گاز یا مایع به کمک انتقال حرارت نشان داده شده است:

فرایند کنترل جریان سیال (MFC) گاز یا مایع به روش انتقال حرارت بطور شماتیک در تصویر زیر آمده است.

در  حجم ثابت و دمای مشخص، امکان عبور سیال داده می شود.

در انتخاب و خرید یک دستگاه MFC گاز یا مایع باید به موارد زیر توجه کرد :

نوع گاز :

هر MFC برای یک گاز خاص کالیبره می شود. بنابراین قبل از خرید هر MFCگاز یا مایع باید توجه داشت که نوع گاز را برای کالیبراسیون MFC مشخص نمود .

فشار ماکسیسمم

هر MFC دارای فشار بیشینه ای است. که کارکرد در بالاتر از آن فشار سبب آسیب های جدی به MFC می شود. در صورت استفاده از MFC در فشارهای بالا میتوان از رگلاتورهای کاهنده فشار یا MFCهای خاص با کارکرد در فشاربالا ،استفاده نمود .