شرکت FHR آلمان

شرکت مهار فن ابزار نماینده‌ی انحصاری دستگاه‌های لایه نشانی کندوپاش (Sputtering) پژوهشی و آموزشی با چهار منبع مختلف برای کندوپاش DC، RF، مگنترون و یا اچ کندوپاشی در دو مدل ساده‌ MS 75×4-L و کامل‌تر MS 150×4

منابع لایه‌نشانی

  • بایاس‌ RF، دو عدد (یک عدد برای MS 75)
  • بایاس‌ DC، دو عدد
  • مگنترون (انتخابی فقط برای MS 150)

منبع اچ کردن

  • الکترود RF با سطح مسی
  • الکترود اچینگ در بالا

مشخصات هدف

  • فاصله‌ی ثابت هدف و زیرلایه: ۷٠ میلی‌متر (۶٠ میلی متر برای (MS 75 و ۷۵ میلی‌متر (انتخابی)
  • ضخامت ٢ تا ١٠ میلی متر و قطر ۲۰ سانتی‌متر (٣ اینچ برای MS 75)
  • فاصله‌ی هدف و سپر: ۳۰ میلی‌متر
  • اتصال به صفحه‌ی مسی برای مواد شکننده مانند اکسیدها و فلزات گران‌قیمت

کارکرد سیستم

  • گرمادهی تا C° ۴۰۰ (تا C°۳۰۰ برای MS 75 و گزینه تا C° ۴۰۰)
  • فشار نهایی mbar۷- ١٠ (mbar۶- ١٠ برای MS 75)
  • کندوپاش به سمت پایین
  • یکنواختی: ۵% و در صورت استفاده از منبع مگنترون: ۳%
  • نرخ لایه‌نشانی nm/min20-1
  • گزینه‌ی نمایش نرم‌افزاری عملیات
  • گزینه‌ی دستی/ اتوماتیک (گزینه‌ی PLC/ نرم‌افزاری)

    مشخصات اجزاء

  • محفظه‌ی جداگانه برای انتقال نمونه با خلا متوسط ۳-١٠ (انتخابی)
  • محفظه‌ی لایه‌نشانی از فولاد زنگ‌نزن
  • میزنگهدارنده‌ی زیرلایه گردشی با سرعت قابل تنظیم
  • چهار پشت‌بند میزنگهدارنده
  • ابعاد هر پشت‌بند زیرلایه تا cm۱۵)۴ اینچ برای(MS 75 به صورت چهارگوش یا گرد
  • یک پشت‌بند در مرکز برای لایه‌نشانی همزمان برای مدل MS 75
  • پشت‌بند دارای قابلیت گردشی و گرمادهی تا C°۴۰۰ (تا C°۳۰۰ برای MS 75 و گزینه تا C° ۴۰۰)
  • پوشش محافظ سطح محفظه برای جلوگیری از آلودگی
  • محفظه جداگانه برای آماده‌سازی سطح با خلا ۶-١٠ و قابلیت اعمال پلاسما برای مدل MS 150
  • دو ورودی گاز با خلوص N۶
  • پمپ توربومولکولی یا کرایو

سیستم نانولایه یونی نانو کوتینگ

سیستم نانولایه یونی نانو کوتینگ

دستگاه‌های لایه‌برداری (اچ) یون فعال
Reactive Ion Etcher (RIE)
در سه مدل AER 100، AER 150 و AER 200
ساخت کمپانی FHR آلمان

قابل استفاده برای لایه‌برداری لایه‌های اکسیدی، نیتریدها، فلزات و لایه‌های آلی از روی ویفرهای نیمه‌هادی، سیستم‌های حسگر، ماسک‌های نوری و کاربردهای آنالیز شکست

گزینه‌های انتخابی:
– اچ کردن نیمه‌هادی‌ها توسط ترکیبات فلوئور یا فلزات توسط ترکیبات کلر
– محفظه‌ی ورود نمونه به صورت دستی یا خودکار
– ابزار کنترل فرآیند در محل/آشکارسازهای نقطه‌ی پایانی
– طیف‌سنج انتشار نوری
– تداخل‌سنجی لیزر
– پروب rf
– محفظه‌ی ورود نمونه برای عملیات کاست به کاست

مشخصات فنی:
– ویفر: قطرهای mm١٠٠، mm١۵٠ و mm٢٠٠
– محفظه: آلومینیوم
– الکترود اچ: آلومینیوم
– سیستم خلاء:
پمپ توربومولکولار l/s۵٠٠ … l/s١۵٠ (بسته به مشخصات آزمایشگاه)
پمپ چرخشی m3/h۵٠ … m3/h16 یا پمپ‌های خشک (بسته به مشخصات آزمایشگاه)
– فشار نهایی: mbar۶-١٠×١<
– فشار کاری: mbar١-١٠×٢ … ٣-١٠×۵
– سیستم RF: MHz 56/13، W١٠٠٠/W۶٠٠
شبکه‌ی تنظیم خودکار با اندازه‌گیری ولتاژ بایاس
– کنترل: PLC، ارتباط از طریق PC
– محیط:
AC: /N/PE٣، V۴٠٠/٢٣٠، A٣٠، Hz۵٠
آب: بر حسب پروژه
هوای فشرده: حدود bar۶
خروجی گاز: DN 25 ISO-KF (DN 40 ISO-KF) (بسته به مشخصات آزمایشگاه)

دستگاه‌های اچ کمپانی FHR امکان استفاده در قالب سیستم‌های خوشه‌ای برای لایه‌نشانی با استفاده ازترکیب چند تکنیک لایه‌نشانی کندوپاش، PECVD، و آنیل برای مصارف صنعتی و تحقیقاتی را نیز دارا هستند.

دستگاه نانوکوتر
دستگاه نانوکوتر
سیستم نانوکوتینگ
سیستم نانوکوتینگ
دستگاه لایه نشان
دستگاه لایه نشان
دستگاه لایه نشانی
دستگاه لایه نشانی
خطوط لایه نشانی روی فلزات
خطوط لایه نشانی روی فلزات
دستگاه ups جهت استفاده در سیستم های کوتینگ
دستگاه ups جهت استفاده در سیستم های کوتینگ
ساختمان شرکت fhr آلمان
ساختمان شرکت fhr آلمان
دستگاه کوتینگ
دستگاه کوتینگ
سیستم کوتینگ
سیستم کوتینگ
دستگاه کوتینگ حرارتی
دستگاه کوتینگ حرارتی
وضعیت پلاسما در لایه نشانی
وضعیت پلاسما در لایه نشانی
بررسی نمونه های لایه نشانی شده
بررسی نمونه های لایه نشانی شده
دستگاه لایه نشانی
دستگاه لایه نشانی
شرکت FHR آلمان تولید کننده دستگاه کوتینگ و لایه نشانی حرارتی پلاسما و کندوپاش
شرکت FHR آلمان تولید کننده دستگاه کوتینگ و لایه نشانی حرارتی پلاسما و کندوپاش
قرار دادن نمونه در دستگاه کوتینگ و پخت ویفر
قرار دادن نمونه در دستگاه کوتینگ و پخت ویفر
مجموعه لایه نشانی FHR آلمان با یک سال گارانتی
مجموعه لایه نشانی FHR آلمان با یک سال گارانتی
سیستم لایه نشانی با کندوپاش
سیستم لایه نشانی با کندوپاش
دستگاه نانو کوتینگ
دستگاه نانو کوتینگ
دستگاه MS200 مخصوص کوتینگ فلزی
دستگاه MS200 مخصوص کوتینگ فلزی
دستگاه ICPC کوتینگ با روش کند و پاش
دستگاه ICPC کوتینگ با روش کند و پاش
کوتینگ SV خطی و چند مرحله ای کوتینگ بخار فلزی روی قطعات
کوتینگ SV خطی و چند مرحله ای کوتینگ بخار فلزی روی قطعات
دستگاه ICPR سیستم کوتینگ حرارتی
دستگاه ICPR سیستم کوتینگ حرارتی
دستگاه کوتینگ CD SM3 سیستم کوتینگ اسپاترینگ
دستگاه کوتینگ CD SM3 سیستم کوتینگ اسپاترینگ
دستگاه کوتینگ و نانو کوتینگ
دستگاه کوتینگ و نانو کوتینگ
بالا
error: کپی نداریم